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　　由图可见，晶圆级Micro LED芯片的非接触电致发光检测不受芯片影响，能够较好地隔空点亮芯片。

　　◆ AOI外不雅缺陷检测，只能对外不雅缺陷进行检测，无法对芯片概况以下的发光层、正极、负极等进行检测，可识别缺陷类型无限。

　　Micro LED做为下一代显示的焦点手艺标的目的，其手艺改革和财产化成长将沉构显示财产合作款式，强化中国手艺话语权。海目星身为新型显示财产链上的领先企业，凭仗杰出的实力和前瞻性的计谋目光，不竭正在全球赛道中抢占手艺高地，鞭策财产转型升级。

　　面临Micro LED巨量检测诸多行业痛点， 2015年起头，福州大学吴朝兴传授团队开展LED非接触电致发光道理研究，随后提出Micro LED芯片的无接触电致发光检测方案，即正在外部检测电极取Micro LED芯片之间不接触的环境下实现LED芯片的电致发光。正在该模式中，外部电极不是为LED注入载流子，而是用于构成垂曲于LED多量子阱层的电场，从而 “隔空”点亮LED芯片。

　　当前，Micro LED晶圆检测手艺可分为三类：探针式电致发光检测（EL）、AOI外不雅缺陷检测、光致发光检测（PL）。

　　2024年7月，海目星取福州大学合伙成立深圳海纳半导体配备无限公司，聚焦各类新型显示及第三代半导体检量测设备，为提拔行业良率供给高速高精的处理方案，为业内客户降本增效取规模化出产供给强大手艺支持。

　　2024年，海目星联袂福州大学吴朝兴传授团队 ，以及节制取光电采集信号的同步，成功研 制晶圆级Micro LED芯片的非接触电致发光检测工程样机FED-NCEL，冲破财产化“最初一公里”。

　　国内首款晶圆级Micro LED芯片非接触电致发光检测工程样机FED-NCEL，无效处理Micro LED行业共性检测手艺问题！

　　霸占巨量检测绝非单一手艺冲破，更是一场环绕半导体高端制制的生态级立异，也是海目星建立笼盖“光-机-电-算”的全栈手艺壁垒的环节一环。

　　本年4月，海目星取闽都立异尝试室正式成立“半导体检量测配备研发核心”。闽都立异尝试室是首批四家福建省立异尝试室之一，正在光电消息范畴的环节手艺攻关取财产范畴有奇特劣势。两边的合做将进一步深化产学研融合，赋能半导体显示财产立异成长。

　　◆ 光致发光检测（PL）利用短波长激发LED的发光层发生发光图像，具有非接触式、速度快等长处。无法对芯片的正负电极进行驱动测试。

　　◆ 探针式电致发光检测（EL）检测精确度高，但效率极低，还会对芯片形成必然程度的毁伤？。

　　基于该样机的研发，可对红、绿、蓝Micro LED外延片、晶圆（COW）以及转移到姑且载板的芯片（COC）进行无接触电致发光检测。

　　然而， 目前已无法满脚财产链高精、高效、无损的需求，检测体例亟需升级迭代。

　　当下，针对Micro LED晶圆级出产工艺进行高效精准的全检已成 为枷锁 行业量产的手艺难题之一。

　　这种检测方式既避免了保守检测方式正在检测过程中对Micro LED芯片形成的物损坏，又避免了光致发光检测形成的芯片良品率“虚高”的现象。除此之外，还能避免从动光学检测正在检测过程中将概况描摹无缺但无法发光的Micro LED芯片误判为一般芯片的环境。

　　样机高精度、高不变性、高效率的手艺特点，极大提拔了工艺良率程度，降低制形成本，为我国Micro LED财产供给了本土化的处理方案，以高质量立异帮奉行业跃进。

　　海目星通过底层焦点手艺冲破，撬动显示取半导体升级的双沉海潮，为全球科技财产注入中国立异动能。将来，海目星还将继续立异，鞭策财产手艺横向拓展取纵向延长，加快国产半导体显示高端配备自从化历程。